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“真空”是指在给定空间内,低于标准大气压的气体状态。处于真空状态下气体稀薄程度的量叫真空度。用压力(剩余压力)值来表示,以mmHg为单位。利用机械物理方法对容器进行抽气以获得真空的机器,叫真空泵。按其工作原理可分为容积式,射流式和其他类型真空泵。
真空泵的主要性能指标:
1.极限真空,真空泵在给定条件下,经充分抽气后,抽气量为零时所能达到的稳定的低压力。
2.抽气速率,对于给定气体,在一定温度压力下,单位时间内从泵吸气口平面处抽出的气体容积。
3.抽气量,对于给定气体,在一定温度下,单位时间内从泵吸入口平面处抽出的气体量。
4.反压力,需要前级真空的真空泵,在一指定的负荷下运转时,其反压力升高到某一定值时,则泵失去正常的抽气能力,该反压力称反压力。
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